(1)真空泵溫太高，1.被抽氣體溫度過高。應讓氣體冷卻后再進入真空泵內，2.吸入硬物使真空泵體磨損。應拆開真空泵除去硬物，對劃傷部件進行修復或更換，3.真空泵冷卻水流Z不夠。應加大冷卻水流量，4.裝配不當，使轉子軸心位移，造成單面磨損。應拆開檢查并重新裝配。

(2)真空泵油有問題，1.油位過低。應加足油量到油標中心線，2.油被沾污，油質變壞。應更換新油，3.油的牌號不符。應換規定牌號的真空泵油，4.油路不通，真空泵腔內沒有保持適當的油量。應檢查油路及油閥的進油量，保持油路暢通。

(3)真空泵本身漏氣：1.密封圈漏氣。應檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈，2.氣鎮閥墊圈損壞：或未擰緊。應更換墊圈并擰緊氣鎮閥；3.排氣閥片損壞，密封不好。應更換氣閥片；4.真空泵中隔板壓入時過盈量太大，造成真空泵腔變形而漏氣。應修整真空泵腔或更換，5.由于真空泵的端面油密封不良造成漏氣。應拆開端蓋，檢查是否有雜物或不平整，并進行清洗或修理。

(4)轉子彈簧變形或折斷及旋片動作不靈。應整修或更換彈簧變形，使轉子積旋片配合，

(5)進氣口的過濾網被堵塞。應取下過濾網清洗干凈，再裝上去，

(6)因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應檢查真空泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規定的精度要求進行修復或更換。

(7)真空泵運轉中摩擦發熱.溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。應通冷卻水或用電風扇降溫，同時，檢查有關部件配合間隙并按規定精度要求進行修理或更換。